Fraunhofer HHI chọn Hệ thống Sputter của Veeco

Viện nghiên cứu viễn thông quang học đặt hàng hệ thống phún xạ chùm tia ion để tạo ra các lớp phủ mặt laze và các thiết bị vi quang học.

HHI sẽ sử dụng công nghệ IBS của Veeco để tạo lớp phủ bề mặt bằng laser.

Công cụ Veeco đã thông báo rằng họ đã vận chuyển hệ thống Spector Ion Beam Sputtering (IBS) và Hệ thống Màn hình Quang học Sirius đến Viện Fraunhofer cho Viễn thông(HHI).
Viện có trụ sở tại Berlin, Đức, cho biết họ sẽ sử dụng công nghệ IBS này “để phát triển và sản xuất các lớp phủ bề mặt laser và các thiết bị vi quang học khác”.
Greta Ropers, người đứng đầu nhóm phụ trợ và đóng gói của Fraunhofer nhận xét: “Sự phát triển của các thiết bị vi quang học phức tạp đòi hỏi công nghệ phún xạ đặc biệt.
“Hệ thống Spector của Veeco, cùng với Sirius OMS, sẽ đảm bảo rằng chúng tôi đang phát triển và sản xuất các thiết bị đẳng cấp thế giới với thông lượng cao nhất và khả năng lặp lại quy trình trên một nền tảng tự động, đã được thiết lập.”

Màng mỏng quang học
Theo khách hàng, nền tảng Spector tạo ra các màng mỏng quang học chất lượng cao với mức năng suất và thông lượng được cải thiện. Không giống như lớp phủ bay hơi, màng mỏng phóng xạ chùm ion được lắng đọng ở năng lượng cao, giúp kiểm soát độ dày đặc biệt và mật độ khuyết tật thấp cho các ứng dụng phủ laser. .
Tiến sĩ Adrian Devasahayam, phó chủ tịch kiêm tổng giám đốc kinh doanh của Veeco's Advanced Deposition and Etch (AD&E) cho biết: “Fraunhofer HHI dẫn đầu trên toàn thế giới trong việc phát triển lớp phủ bề mặt laser và thiết bị vi quang học thế hệ tiếp theo. “Hệ thống Spector cung cấp chất lượng và tính linh hoạt vô song cho các màng mỏng phủ quang học chính xác và sẽ đẩy nhanh các mục tiêu phát triển của chúng”.
Nguồn vốn cho dự án này được cấp bởi Forschungsfabrik Mikroelektronik, một nhà máy nghiên cứu đa địa điểm về vi điện tử và điện tử nano, thỏa hiệp với mười một viện trong Tập đoàn Fraunhofer cùng với các Sáng kiến ​​cho Vi điện tử Hiệu suất cao và Ferdinand-Braun-Institut, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik. Hệ thống được bán với sự hợp tác của đối tác kênh Châu Âu của Veeco,Công nghệ Veonis.